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旋转喷淋清洗机简介

旋转喷淋清洗机

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旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。

喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均匀，同时，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，这样就可以做到通过工艺时间设置，控制硅片的清洗腐蚀效果，实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对***和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学***，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持新鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到更好的清洗目的。

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下列是清洗消毒器常规体检的一些关键环节?喷头无污染物或阻塞。如果有喷嘴堵塞，水流和压力将遭受阻拦，进而危害清洗机的特性。清洗机的水在清洗周期时间中是再次循环的，在其中带上的污染物很有可能滞留在自喷臂内。自喷臂需定时清理。?自喷臂上的排水口向着总体目标表面。有的清洗机的自喷臂在应用全过程中松脱转动，造成自喷没法房屋朝向器材。很多自喷臂两侧都是有孔；这种孔能够调整朝上或朝下。?自喷臂齐备：有的机构的自喷臂所有 缺失但设备仍在应用。假如自喷臂缺失清洗机没法正常的运行，由于压力和洒水会极大消弱机械设备清洗***。假如自喷臂缺失则不能应用该清洗机。